二手半导体设备DNS SU-3100清洗设备

发布日期:2025-07-10 点击次数:121

DNS SU-3100 是一款单片式半导体清洗设备,在半导体制造等领域应用广泛,主要用于清洗晶圆等半导体元件,可有效去除表面污染物,保障芯片良率。以下是具体介绍:

腔室与处理能力:拥有 8 个内置腔室,配备新开发的高速晶圆传输系统,吞吐量可达每小时 300 片晶圆,能满足大规模生产需求。

清洗技术:采用创新的兆声波清洗技术,通过高频振动产生强大空化效应,可轻松剥离晶圆表面的微小颗粒、有机物残留和金属杂质等污染物。

清洗控制:具备 DDI(动态直接喷射)混合系统,可实现高精度的流量控制。同时配备了温度调节装置,能根据不同材质和工艺需求,精准控制清洗液的成分、浓度、流量及温度,在彻底清洗的同时,不损伤晶圆表面结构。

操作便利性:拥有智能化的人机交互界面,操作流程清晰易懂。工程师可根据不同的清洗工艺要求,快速设置清洗参数,并支持多组清洗程序的存储与调用。设备还具备自动检测功能,可实时监控清洗过程中的各项指标,保障清洗工作稳定运行。

应用领域:适用场景广泛,涵盖半导体晶圆制造、芯片封装、平板显示、太阳能电池等领域,可用于去除光刻胶残留、清洗刻蚀后的残留物以及晶圆表面抛光后清洗等多种工艺环节。

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