一.基础指标
隔振效率:重点关注 “1-10Hz 低频段传递率”(越低越好,主动阻尼需≤30%),高频段(100Hz 以上)传递率需≤5%,否则无法满足精密实验负载能力:按 “仪器总重量 + 20% 余量” 选型,举例:1m×0.8m 平台若安装 50kg 激光器,需选负载≥60kg 的型号,避免超载导致气膜破裂平面度:普通实验需≤0.1mm/m²,光刻、量子实验需≤0.02mm/m²(相当于 1 米台面高低差不超过 2 根头发丝)4共振频率:垂直方向需≤3Hz、水平方向需≤5Hz,避免与实验设备(如激光器共振频率 5Hz)产生共振响应时间:主动阻尼平台需≤20 秒(从启动到稳定),否则频繁启停会影响实验效率。
二. 隐藏指标
气源兼容性:是否支持 “普通压缩空气” 或需 “无油无水气源”(若实验室只有普通气源,选带 “油水分离器” 的集成款,避免气路堵塞)断气保护:是否带 “蓄能器”(断气后维持气膜 1-2 分钟)或 “机械限位”(防止台面快速下落砸坏仪器),这是安全核心安装孔精度:螺纹孔间距误差需≤0.1mm(如 25mm 标准间距),否则光学支架无法精准固定,导致光路偏移。